MEMS惯性传感器 射频(RF)MEMS器件 汽车MEMS传感器 热式燃气表 光MEMS器件


MEMS惯性传感器

针对惯性制导、组合导(GPS+INS)、平台稳定、姿态控制等惯性领域。我公司推出电容式超小型高精度MEMS惯性器件,其中全数字化微陀螺整体质量仅为1.8g,MEMS微加速度计质量仅为1g,可抗20000g过载。 针对振动测试、冲击测试、爆炸测试、运动控制、硬目标侵彻等领域。我公司推出压阻式高性能等可靠加速度传感器,集成陶瓷、金属、塑封等多种封装形式,量程覆盖50g到100000g供您 MORE+


射频(RF)MEMS器件

全球首家推出采用高精度微纳立体加工、硅圆片直接键合、TSV(硅通孔)等MEMS技术制作的新一代硅腔滤波器芯片,拥有超小体积与重量、多层全屏蔽、抗干扰卓越的微波性能,低损耗、高抑制、为微波毫米波系统小型化提供了新选择。 产品频率范围覆盖2~50GHz,具有带通、带阻、窄带、宽带、超宽带多个系列。广泛应用于雷达、微波通讯、电子系统等领域。 MORE+


汽车MEMS传感器

采用先进的MEMS 加工工艺、惠斯通电桥设计、精确温敏电阻、内置信号调理电路等技术开发。 MEMS碰撞传感器应用于汽车碰撞实验、汽车缓冲测试、汽车车身和底盘可靠性测试。 热膜式汽车空气流量计测量精度高、响应时间短、可测量脉动的空气流,用于汽车发动机进气量的检测。 MORE+


热式燃气表

热式燃气表示基于我公司创新的MEMS传感器技术研发的一款新型的天然气计量表,基于热式质量流量原理,可实现直接的天然气质量流量测量,兼容GB/T6968-1997,无需温度、压力补偿即可实现标方体积计量;内部集成气氛传感器,可实现测量介质气氛智能识别、燃气密度实时修正,并可升级到天然气能量计量;无可动部件,具有高精度、超远量程、超低始动流量、低压损、地维护等特点,本质为全电子化仪表,易于拓展成预付费 MORE+


光MEMS器件

采用高精度微纳加工工艺、位置线性精确控制、DRIE深槽刻蚀等技术开发的光机电一体化集成光开关(OS)、可变光衰减(VOA)和波长选择开关(WSS)等产品,具有体积小、低功耗、低插损、高隔离度、低偏振相关、低波长相关、快速响应等优点。广泛应用于光通信和各种光网络。 MORE+
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