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中国电子科技集团公司第十三研究所
石家庄市开发区麦特达微电子技术开发应用总公司
微纳电子技术
北京凌信致远科技有限公司
SiMF系列MEMS高通滤波器
♦ 高性能、全屏蔽、抗干扰、微波性能好
♦ 高精度、微纳米加工,指标一致性好,适合批量生产
♦ 硅基片、体积小、重量轻、使用方便、键和使用
♦ 50欧姆共面波导输出,键合使用,适用微波多芯片集成应用
♦ 高通通带范围可覆盖一个倍频程,更宽可按用户要求实现多个倍频程
产品说明
全球首家推出采用高精度微纳米加工、硅圆片直接键合、TSV(硅通孔)等MEMS技术制作的新一代硅腔滤波器芯片,超小体积。为微波多功能集成模块的小型化提供了新选择。产品频率范围覆盖S~Ku 波段,频段正在向毫米波波段发展。
典型应用
雷达 微波通讯 电子系统
推荐使用方法
采用低温装架工艺(不超过180℃),芯片下表面用适量低应力导电胶粘接,保证充分接地。射频端用150um×12.5um金带(推荐)或25um~50um金丝键合连接,金丝键合时,键合线数量不少于2根,连线尽量短。
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