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工艺设计规则
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6英寸SOI MEMS工艺设计规则
本规则适用于6英寸SOI MEMS深刻蚀工艺。本规则规定了本工艺线的6英寸SOI MEMS工艺流程及相关设计规则。本规则为顾客工艺加工服务。
如您想了解更多,请联系:
技术负责:徐永青
Tel:0311-87091624
Fex:0311-87091441
Email:
[email protected]
[email protected]
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